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    韶光铬版

    微细图形加工

    产品分类: 石英玻璃匀胶铬版
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        韶光牌匀胶铬版生产工艺先进,质量高,具有针孔密度低,刻蚀均匀,重复性好,边缘清晰度高,容差极小,加工方便,经久耐用等特点,是微波、声表、全息、半导体器件,特别是中、大规模和超大规模集成电路生产和科研中理想的掩模材料。

        1、尺寸规格标准
        尺寸代号标称尺寸
        (mm×mm×mm)
        边长L实际值
        (mm)
        厚度T实际值(mm)垂直度
        (偏离90°的角度)
        MinMaxMinMax
        200650.8×50.8×1.5050.050.81.401.60≤7′
        (≤0.05/25.40)
        250663.5×63.5×1.5062.763.51.401.60
        300676.0×76.0×1.5075.476.21.401.60
        300976.0×576.0×2.302.202.40
        350688.9×88.9×1.5088.188.91.401.60
        4006100.0×100.0×1.50100.8101.61.401.60
        4009100.0×100.0×2.302.202.40
        5009127.0×127.0×2.30126.2127.02.202.40
        5012127.0×127.0×3.052.953.15
        5018127.0×127.0×4.574.474.67
        6009152.0×152.0×2.30151.6152.42.202.40
        6012152.0×152.0×3.052.953.15
        6015152.0×152.0×3.803.703.90
        7009177.8×177.8×2.30177.0177.82.202.40
        7012177.8×177.8×3.052.953.15
        7015177.8×177.8×3.803.703.90
        7025177.8×177.8×6.356.256.45

        注:根据用户要求,还可提供8〞~20〞(203.2mm~508mm)产品。

        2、平整度标准

        匀胶铬版产品按平整度分为:Um、 Sm、S、W四个级别

        匀胶铬版

        3、质量区域: 圆形质量区

        正在进行技术改造,将可提供方形质量区的产品。

        4、铬膜层的技术性能
         BCR1BCR2LRC1LRC2
        铬膜厚度(nm)100±20±10±15±10
        每块版内厚度变化±2±2±3±3
        光密度(OD)2.5±0.3±0.3±0.3±0.3
        每块版内光密度允许变化±0.05±0.06±0.05±0.06
        反射率(λ=400-440nm)(%)>40>40<1010±2
        反面(%)<40<40<40<40
        腐蚀时间  浸入(4号配方)(S)35±541±535±538±5
        喷射(4号配方)(S)35±539±531±536±5
        横向腐蚀速率(二侧面)(μm/10 s)<0.1<0.07<0.17<0.13
        经90min,在以下条件处理后,光密度/反射率的变化(-/%) 
        浓H2SO4  120℃不稳定不稳定不稳定不稳定
        浓H2SO4+H2O2≈75℃ 0/0 0/0

        腐蚀:推荐的4号腐蚀液配方

        硝酸铈铵Ce(NH4)2(NO3)6 200g

        醋 酸CH3COOH 98% 35ml

        去离子水 DI 1000ml

        注:BCR—高反射版 LRC—低反射版

        XXX1——蒸发版 XXX2——溅射版

        根据用户要求可以提供不同铬膜厚度和光致抗蚀剂(光刻胶)的产品。现主要使用光刻胶为S1805、AzP1350和AzTFP650三种。

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